综合实验仪器设备

仪器设备-半导体特性测试系统

设备名称: 半导体特性测试系统
英文名称:  
仪器型号: Keithley 4200-SCS/ SemishareSM-4
生产厂商: 匈牙利Semilab
负责教师: 谈立承
放置地点: 理生楼B619
说明书:  
功能及参数说明:
半导体特性分析系统是实现半导体材料性能测试高度集成的平台,它由电学测量部分和变温探针系统两部分组成,电学测量部分是将I-V测试单元、C-V测试单元等半导体测试模块整合为一个系统,可以提供半导体材料和器件的高精度电学参数测量,可以进行I-V、C-V测量、四探针电阻率测量和范德堡电阻测量。