综合实验仪器设备

仪器设备-全光谱椭圆偏振光谱仪

设备名称: 全光谱椭圆偏振光谱仪
英文名称:  
仪器型号: COSE5 Professional
生产厂商: 上海系科
负责教师: 谈立承
放置地点: 理生楼B617
说明书:  
功能及参数说明:
仪器功能:表征薄膜厚度、折射率、消光系数。
  
  参数说明:
◆光谱范围:250nm-1000nm;
◆光源:Hamamatsu 氘卤复合光源/氙灯光源;
◆光谱仪:Bwtek 背照式真空制冷CCD光谱仪;
◆准确度:Psi,0.05°;delta,0.05°
◆测量时间:1s-5s;
◆膜厚测量重复性:0.05nm,对于单晶硅基底上100nm的SiO2膜层;
◆折射率精度:0.003,对于单晶硅基底上100nm的SiO2膜层;
◆光学结构:PrSCA;
◆对焦方式:自动对焦;
◆光强选择方案:自动光强选择;
◆光学分析软件:ElliSpec软件系统。